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TESCAN MIRA 是最新推出的第四代高性能通用型场发射扫描电子显微镜（SEM），配置高亮度肖特基场发射电子枪，在 TESCAN Essence™ 操作软件的同一个窗口中实现 SEM 成像与实时元素分析，广泛用于质量控制、失效分析及实验室常规材料检测。
主要优势
系统配置：单束系统（SEM）、场发射电子枪、电子束减速技术、集成能谱分析、镜筒内探测器、可变真空 MultiVac。
成像与分析：可获得样品室内 SE、样品室内 BSE、镜筒内 SE 及镜筒内 BSE 四种不同衬度信号；电子束减速技术进一步提升低电压下的成像能力。SingleVac™ 模式为标配，TESCAN 已预设真空值，荷电样品无需喷镀即可观察。
主要应用：常规材料亚微米级表征、材料研究、质量控制与失效分析。
技术参数
| 电子束柱 | FEG-SEM 电子束柱 |
| 电子源（电子枪） | 肖特基场发射电子源 |
| 电子束分辨率 | 1.2 nm @ 30 kV；1.0 nm @ 30 keV（In-Beam SE）；3.5 nm @ 1 keV（In-Beam SE）；1.8 nm @ 1 keV（样品偏压 BDT） |
| 放大倍率 | 2× – 1,000,000× |
| 着陆能量范围（加速电压） | 200 eV – 30 keV（配 BDT 可低于 50 eV） |
| 探针电流 | 2 pA – 400 nA，连续可调 |
| 标准探测器 | 样品室 SE 探测器（Everhart-Thornley）；样品室红外观察相机 |
| 可选探测器 | In-Beam SE；In-Beam LE-BSE；R-BSE（闪烁体，可移动）；LE-BSE；4Q LE-BSE（四象限固态）；HADF R-STEM（BF/DF/HADF）；CL 阴极荧光；ONCam 光学导航关联相机；GSD 气体二次电子探测器 |
| 可选分析器/接口 | TESCAN (Dual) Essence EDS（集成）；第三方 EDS / EBSD / WDS；RISE 共聚焦拉曼光谱 |
| 样品室 | GM 大样品室，20+ 个接口 |
| 样品台 | 电动 5 轴共心（compucentric）样品台 |
| X / Y 轴行程 | 130 mm |
| Z 轴行程 | 100 mm |
| 旋转 | 共心 360° 连续旋转 |
| 倾斜范围 | 共心 −70° 至 +90° |
| 最大样品高度 | 92 mm（不旋转样品台时 133 mm） |
| 最大样品尺寸 | 直径 180 mm（全 XY 行程、旋转、无倾斜；更大样品需限制行程与旋转） |
| 最大样品重量 | 8,000 g（全 XYZ 移动）；1,000 g（全 XYZRT 移动） |
| 真空系统/模式 | 无油泵；MultiVac 模式最高 700 Pa（N₂ 或 H₂O）；SingleVac 模式 30 ± 10 Pa |
| 软件 | TESCAN Essence™（集成成像、导航、EDS 分析与自动化）；Essence™ 3D 防碰撞模型 |
以上参数依据厂商官方资料整理，具体以订货型号与随机规格书为准。